D系列、HD系列高纯氢气纯化设备

型号	原料气	纯化后杂质指标
7H-D	≥99.999%	O2、H2O、CO2≤10ppb，颗粒≤0.01μm
6H-D	≥99.99%	O2、H2O、CO2≤0.1ppm，颗粒≤0.1μm
6H-H(E)D	≥98%	O2、H2O、CO2≤0.1ppm，颗粒≤0.1μm

说明：

①再生氢气消耗量为产品气的5—10%；

②可加氮气进行再生以节约再生氢气消耗量，如产品气对氮要求高则不建议使用；

③HD系列的氢气消耗量及是否用E工序视原料气氧含量而定；

④常用规格有：5、10、20、35、50、75、100、150、200、300、400Nm³/h等。

设备特点

•抗波动能力强，原料气杂质短时间波动至设计值200%不影响产气纯度；

•抗意外能力强，短时间断电、断水不影响产气纯度；

•具备完善的报警联锁系统，可实现无人值守全自动运行；

•按国家标准进行防爆处理，在防爆箱中的采用充氮气保护；

•不可高压纯化，纯化压力不超过4.0MPa。

应用领域

光导纤维的研制生产； 晶片外延保护气体；

大规模集成电路的研制与生产； 精密不锈钢加工、处理；

科研院所院校实验研究及超纯气体分析； 混合气、标准气体的配制。