OD系列、D系列氧气纯化设备

型号 原料气 纯化后杂质指标
7O-OD ≥99.999% H2O、CO2、CO、CH4、H2≤10ppb,颗粒≤0.01μm
6O-OD ≥99.99% H2O、CO2、CO、CH4、H2≤0.1ppm,颗粒≤0.1μm
7O-D ≥99.999% H2O、CO2≤10ppb,颗粒≤0.1μm
6O-D ≥99.99% H2O、CO2≤0.1ppm,颗粒≤0.1μm

说明:

①氮气、稀有气体不计算为杂质;

②再生气消耗量为产品气的5—10%;

③常用规格有:5、10、20、35、50、75、100、150、200、300、400Nm3/h等。

设备特点

•抗波动能力强,原料气杂质短时间波动至设计值200%不影响产气纯度;

•抗意外能力强,短时间断电、断水不影响产气纯度;

•具备完善的报警联锁系统,可实现无人值守全自动运行;

•可根据用户不同的原料气指标,采用相应的设计达到用户要求;

应用领域

大规模集成电路的研制与生产; 单晶硅的冶炼、拉制;

混合气、标准气体的配制; 化工氧化;

科研院所,大专院校; 超纯气体分析;