OD系列、D系列氧气纯化设备

型号	原料气	纯化后杂质指标
7O-OD	≥99.999%	H2O、CO2、CO、CH4、H2≤10ppb，颗粒≤0.01μm
6O-OD	≥99.99%	H2O、CO2、CO、CH4、H2≤0.1ppm，颗粒≤0.1μm
7O-D	≥99.999%	H2O、CO2≤10ppb，颗粒≤0.1μm
6O-D	≥99.99%	H2O、CO2≤0.1ppm，颗粒≤0.1μm

说明：

①氮气、稀有气体不计算为杂质；

②再生气消耗量为产品气的5—10%；

③常用规格有：5、10、20、35、50、75、100、150、200、300、400Nm³/h等。

设备特点

•抗波动能力强，原料气杂质短时间波动至设计值200%不影响产气纯度；

•抗意外能力强，短时间断电、断水不影响产气纯度；

•具备完善的报警联锁系统，可实现无人值守全自动运行；

•可根据用户不同的原料气指标，采用相应的设计达到用户要求；

应用领域

大规模集成电路的研制与生产； 单晶硅的冶炼、拉制；

混合气、标准气体的配制； 化工氧化；

科研院所，大专院校； 超纯气体分析；