OD系列超纯氮气纯化设备

型号	原料气	纯化后杂质指标
7N-OD	≥99.999%	O2、H2O、CO2、CO、CH4、H2≤10ppb，颗粒≤0.01μm
6N-OD	≥99.99%	O2、H2O、CO2、CO、CH4、H2≤0.1ppm，颗粒≤0.1μm
6N-ODD	≥99.5%	O2、H2O、CO2、CO、CH4、H2≤0.1ppm，颗粒≤0.1μm

说明：

①稀有气体不计算为杂质；

②再生氮气消耗量为产品气的5—10%；

③再生氢气消耗量为产品气的1%左右，再生氢气指标要求：压力：≥0.2Mpa、无氧纯度≥99.999%、露点≤-50℃、不含油类及硫氯砷等化合物；

④常用规格有：5、10、20、35、50、75、100、150、200、300、400Nm³/h等。

设备特点

•抗波动能力强，原料气杂质短时间波动至设计值200%不影响产气纯度；

•抗意外能力强，短时间断电、断水不影响产气纯度；

•具备完善的报警联锁系统，可实现无人值守全自动运行；

•可根据用户不同的原料气指标，采用相应的设计达到用户要求；

•可高压纯化，避免膜压缩机的污染。

 

应用领域

LED、SOI、IC、光伏太阳能、半导体； 光电产业的研制与生产；

混合气、标准气体的配制； 6N瓶装气体生产；

科研院所、大专院校实验研究； 超纯气体分析。