D系列、HD系列高纯氮气纯化设备

型号	原料气	纯化后杂质指标
7N-D	≥99.999%	O2、H2O、CO2≤10ppb，颗粒≤0.01μm
6N-D	≥99.99%	O2、H2O、CO2≤0.1ppm，颗粒≤0.1μm
6N-DD	≥99.5%	O2、H2O、CO2、CO、H2≤0.1ppm，颗粒≤0.1μm
6N-H(E)D	≥98%	O2、H2O、CO2≤0.1ppm，H2≤0.1%，颗粒≤0.1μm
5N-H(E)D	≥98%	O2、H2O、CO2≤1ppm，H2≤0.1%，颗粒≤40μm

说明：

①再生氮气消耗量为产品气的5—10%；

②再生氢气消耗量为产品气的1%左右，再生氢气指标要求：压力：≥0.2Mpa、无氧纯度≥99.999%、露点≤-50℃、不含油类及硫氯砷等化合物；

③HD系列的氢气消耗量及是否用E工序视原料气氧含量而定。

④常用规格有：5、10、20、35、50、75、100、150、200、300、400Nm³/h等。

设备特点

• 抗波动能力强，原料气杂质短时间波动至设计值200%不影响产气纯度；
• 抗意外能力强，短时间断电、断水不影响产气纯度；
• 具备完善的报警联锁系统，可实现无人值守全自动运行；
• 可根据用户不同的原料气指标，采用相应的设计达到用户要求；

应用领域

化纤、橡胶产业循环干燥氮气保护气； 高纯单晶硅的冶炼、拉制；

光电产业、光伏太阳能的研制与生产； 钢铁行业热处理保护气；

科研院所、大专院校实验研究； 超纯气体分析。