| 型号 | 原料气 | 纯化后杂质指标 |
| 7N-OD | ≥99.999% | O2、H2O、CO2、CO、CH4、H2≤10ppb，颗粒≤0.01μm |
| 6N-OD | ≥99.99% | O2、H2O、CO2、CO、CH4、H2≤0.1ppm，颗粒≤0.1μm |
| 6N-ODD | ≥99.5% | O2、H2O、CO2、CO、CH4、H2≤0.1ppm，颗粒≤0.1μm |
说明：
①稀有气体不计算为杂质；
②再生氮气消耗量为产品气的5—10%；
③再生氢气消耗量为产品气的1%左右，再生氢气指标要求：压力：≥0.2Mpa、无氧纯度≥99.999%、露点≤-50℃、不含油类及硫氯砷等化合物；
④常用规格有：5、10、20、35、50、75、100、150、200、300、400Nm3/h等。
设备特点
•抗波动能力强，原料气杂质短时间波动至设计值200%不影响产气纯度；
•抗意外能力强，短时间断电、断水不影响产气纯度；
•具备完善的报警联锁系统，可实现无人值守全自动运行；
•可根据用户不同的原料气指标，采用相应的设计达到用户要求；
•可高压纯化，避免膜压缩机的污染。
应用领域
LED、SOI、IC、光伏太阳能、半导体； 光电产业的研制与生产；
混合气、标准气体的配制； 6N瓶装气体生产；
科研院所、大专院校实验研究； 超纯气体分析。
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