| 型号 | 原料气 | 纯化后杂质指标 |
| 7H-D | ≥99.999% | O2、H2O、CO2≤10ppb，颗粒≤0.01μm |
| 6H-D | ≥99.99% | O2、H2O、CO2≤0.1ppm，颗粒≤0.1μm |
| 6H-H(E)D | ≥98% | O2、H2O、CO2≤0.1ppm，颗粒≤0.1μm |
说明：
①再生氢气消耗量为产品气的5—10%；
②可加氮气进行再生以节约再生氢气消耗量，如产品气对氮要求高则不建议使用；
③HD系列的氢气消耗量及是否用E工序视原料气氧含量而定；
④常用规格有：5、10、20、35、50、75、100、150、200、300、400Nm3/h等。
设备特点
•抗波动能力强，原料气杂质短时间波动至设计值200%不影响产气纯度；
•抗意外能力强，短时间断电、断水不影响产气纯度；
•具备完善的报警联锁系统，可实现无人值守全自动运行；
•按国家标准进行防爆处理，在防爆箱中的采用充氮气保护；
•不可高压纯化，纯化压力不超过4.0MPa。
应用领域
光导纤维的研制生产； 晶片外延保护气体；
大规模集成电路的研制与生产； 精密不锈钢加工、处理；
科研院所院校实验研究及超纯气体分析； 混合气、标准气体的配制。
客服