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OD系列超纯氮气纯化设备

型号原料气纯化后杂质指标7N-OD≥99.999%O2、H2O、CO2、CO、CH4、H2≤10ppb,颗粒≤0.01μm6N-OD≥99.99%O2、H2O、CO2、CO、CH4、H2≤0.1ppm,颗粒≤0.1μm6N-ODD≥99.5%O2、H2O、CO2、CO、CH4、H2≤0.1ppm,颗粒≤0.1μm说明:①稀有气体不计算为杂质;②再生氮气消耗量为产品气的5—10%;③再生氢气消耗量为产品气的1%左右

产品详情


型号原料气纯化后杂质指标
7N-OD≥99.999%O2、H2O、CO2、CO、CH4、H2≤10ppb,颗粒≤0.01μm
6N-OD≥99.99%O2、H2O、CO2、CO、CH4、H2≤0.1ppm,颗粒≤0.1μm
6N-ODD≥99.5%O2、H2O、CO2、CO、CH4、H2≤0.1ppm,颗粒≤0.1μm

说明:

①稀有气体不计算为杂质;

②再生氮气消耗量为产品气的5—10%;

③再生氢气消耗量为产品气的1%左右,再生氢气指标要求:压力:≥0.2Mpa、无氧纯度≥99.999%、露点≤-50℃、不含油类及硫氯砷等化合物;

④常用规格有:5、10、20、35、50、75、100、150、200、300、400Nm3/h等。

设备特点

•抗波动能力强,原料气杂质短时间波动至设计值200%不影响产气纯度;

•抗意外能力强,短时间断电、断水不影响产气纯度;

•具备完善的报警联锁系统,可实现无人值守全自动运行;

•可根据用户不同的原料气指标,采用相应的设计达到用户要求;

•可高压纯化,避免膜压缩机的污染。


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应用领域

LED、SOI、IC、光伏太阳能、半导体; 光电产业的研制与生产;

混合气、标准气体的配制; 6N瓶装气体生产;

科研院所、大专院校实验研究; 超纯气体分析。


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